الهام محقق پور، مرجان رجبی، رضا غلامی پور، مجید مجتهدزاده لاریجانی، شهاب شیبانی
فرآیندهای نوین در مهندسی مواد
2017
در تحقیق حاضر اثر دمای زیرلایه در محدوده - بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن ایجاد شده بر سطح شیشه به روش 36 UV کندوپاش پرتو یونی بررسی شده است. خواص نوری و ساختاری لایه به ترتیب به وسیله طیف سنجی -، طیف سنجی رامان و visible میکروسکوپ نیروی اتمی مورد مطالعه قرار گرفته است. اندازهگیری طیف عبور نمونه ها کاهش میزان عبور نور در محدوده مرئی با افزایش دمای انباشت را نشان می دهد. طیف رامان لایه ها نشان می دهد که ساختار لایه نازک کربن آمورف با افزایش دمای انباشت به سمت کربن آمورف گرافیتی تغییر میکند .بررسی لایه های انباشت شده در دمای بالاتر از   نشاندهنده روند کاهشی مقاومت الکتریکی اندازهگیری شده توسط 100 ºC افزایش زبری سطح در اثر ، روش چهار کاوه و انرژی نوار ممنوعه با افزایش دمای انباشت می باشد. در حالی که نتایج بررسی مورفولوژی سطح sp2  حداقل اندازه خوشه های کریستالی گرافیتی با پیوندهای ،100 ºC افزایش دمای زیرلایه را نشان می دهد. در نمونه های انباشت شده در دمای  . می باشد3 eV و حداکثر انرژی نوار ممنوعه برابر با 0/36 nmبرابر با